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本文件規(guī)定了利用聚焦離子束制備金屬材料截面試樣的儀器設(shè)備及要求、試樣預(yù)處理、制樣準(zhǔn)備條件和制樣步驟。 本文件適用于金屬材料的基體及表面涂鍍層、腐蝕層等截面試樣的制備,其他材料可參照使用。